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2026-05-25 上海微电子装备（集团）6幢厂房（洁净车间、超精密光学）风冷热泵设备采购2025-02-27上海微电子装备（集团）股份有限公司申请的先进封装光刻机及温控装置产品产业化上海芯上微装科技股份有限公司是一家2025年2月成立的专注于高端半导体装备研发、生产和服务的创新型科技企业，核心团队源自上海微电子（SMEE），是其分拆出的后道光刻设备龙头资产整合：2026年1月连续收购SMEE旗下威耀实业、东墅投资，完成资产切割与主业聚焦，为上市铺路,经营范围：半导体器件专用设备制造与销售、电子专用设备、智能基础制造装备、光学仪器、电子专用材料研发制造、技术服务、进出口业务等；专注领域：为芯片制造、芯片先进封装、三代半导体和新型显示提供高精度、高性能、高可靠性的设备解决方案技术突破：2025年11月交付首台350nm化合物半导体光刻设备AST6200，填补国内空白打破国际垄断重要里程碑：2025年8月宣布第500台步进光刻机成功交付给盛合晶微半导体（江阴）有限公司，用于GPU、CPU、AI芯片等高算力芯片的晶圆级封测《上海市国资委关于进一步推动市国资企业私募股权投资基金高质量发展的指导意见》张江高科深度绑定张江科学城“集成电路、人工智能、生物医药、高端制造”四大产业，通过“直投+基金+孵化”科作为LP参股31支产业基金，认缴出资规模达53亿元，撬动社会资金总规模超585亿元，核心载体包括张江浩成100%张江燧锋创新股权投资基金（公司出资占比35%）、元禾璞华集成电路专项基金、上海科创中心系列母基金等，投资方向均围绕张江主导产业赛道直投业务累计投资59个项目，投资金额53亿元，其中上海微电子（持股10.78%）张江高科（张江浩成）持股14.1968%：人形机器人头部企业宇树科技（持股0.8%）、GPU芯片厂商登临科技（持股5.29%）、商业航天企业蓝箭航天（持股超10%） |
